單晶石墨熱場的關鍵部件

單晶石墨熱場的要害部件
    石墨坩堝：一般選用三瓣式規(guī)劃，防止硅液泄露，使用壽命可達30-50爐次。
    加熱器：由等靜壓石墨制成，支撐2000℃以上安穩(wěn)加熱，為單晶成長供應足夠熱能。
    隔熱體系：由多層石墨氈或碳纖維復合材料構成，熱反射率≥90%，可下降能耗20%-30%。
    導流筒：優(yōu)化熱場氣流散布，提高熱場均勻性。
    維護部件：在爐底、金屬電極、托桿等位置設置維護板或維護套，防止漏硅及機械損害。

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