石墨舟的功用及整體質(zhì)量對PECVD過程的影響

石墨舟的功用及整體質(zhì)量對PECVD過程的影響
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實施硅片PECVD鍍膜的器械除了設(shè)備外還需要一種支撐硅片的承載工具，管式PECVD采用石墨舟作為承載工具，板式PECVD則采用石墨框作為承載工具。


以管式機石墨舟為例，石墨舟即是承載體，也是電極，從電路角度上看，石墨舟實際上是一組并聯(lián)體，任意兩片舟片都是一組正、負極極板，在射頻電壓的左右下形成電場。

石墨舟.jpg

采用石墨作為承載工具具有以下特點：
1、石墨具有良好的導(dǎo)電性能，通過合適的排列方式可以建立起穩(wěn)定的電場，使氣體在電場的作用下得到電離，在被鍍物上沉積出需要物質(zhì)；


2、石墨具有良好的耐高溫性能且熱膨脹率非常小，在常溫和高溫狀態(tài)下都能保持穩(wěn)定的形體；


3、石墨的化學性質(zhì)穩(wěn)定，在無氧或真空狀態(tài)下，即使在高溫狀態(tài)下也不會和鍍膜物質(zhì)產(chǎn)生化學反應(yīng)，保證了沉積物的純度。

信息來源：石墨舟

本文出自東莞市捷誠石墨制品有限公司官網(wǎng)：http://zgzscp.com 權(quán)威發(fā)布，    東莞市捷誠石墨制品有限公司是一家集銷售、應(yīng)用開發(fā)，產(chǎn)品加工的石墨專業(yè)廠家，專門為模具行業(yè)、機械行業(yè)、真空熱處理爐、電子半導(dǎo)體及太陽能光伏產(chǎn)業(yè)等提供石墨材料、石墨電極和相關(guān)的石墨制品，歡迎致電13549365158更多關(guān)于石墨制品方面信息，可回本網(wǎng)站產(chǎn)品頁面詳細了解點擊：石墨制品  石墨模具  石墨坩堝 石墨轉(zhuǎn)子 石墨軸承 石墨板 石墨棒 石墨匣體 石墨熱場 真空爐石墨制品 電子石墨模具