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石墨舟該如何清洗?注意事項(xiàng)有哪些?

作者:http://zgzscp.com 發(fā)布時(shí)間:2022-02-28 13:26:59

捷誠石墨的小編為大家整理一些有關(guān)于石墨舟清洗方法及注意事項(xiàng):

1、新舟在第一次使用前建議使用去離子水+10%(體積比)的氫氟酸進(jìn)行清洗約3~5小時(shí);再用去離子水進(jìn)行漂洗8~12小時(shí);直到確認(rèn)舟體沒有酸性成分,可在漂洗后用PH試紙測(cè)試用過的水或洗過的舟,以確認(rèn)清洗結(jié)果。然后按照要求進(jìn)行烘干。

2、使用后石墨舟的清洗:SHF的石墨舟一般在使用100-150次左右需要對(duì)其表面的氮化硅進(jìn)行清洗。建議使用濃度15-25%的氫氟酸溶液,分三輪次來清洗,每次4-5小時(shí),并在浸泡清洗的過程中進(jìn)行周期性氮?dú)夤呐?,加半小時(shí)左右的清洗;注意:鼓泡不建議直接使用空氣作為氣源。酸洗后用純水漂洗10小時(shí)左右,并確認(rèn)舟已經(jīng)徹底清洗干凈,請(qǐng)?jiān)谇逑唇Y(jié)束后檢查舟的表面、石墨卡點(diǎn)和舟片結(jié)合處、以及其它部位是否還有氮化硅的殘余。然后按照要求進(jìn)行烘干。

清洗注意事項(xiàng):

1.由于HF酸屬于強(qiáng)腐蝕性物質(zhì)并有一定的揮發(fā)性,對(duì)操作人員有一定的危險(xiǎn)性。因此清洗崗位操作人員必須做好安全防護(hù),并進(jìn)行專人管理。

2.建議在清洗時(shí)將舟拆開后只對(duì)石墨部位進(jìn)行清洗,這樣能將各個(gè)接觸部位清洗的更徹底。目前國內(nèi)很多廠家采用整體清洗,雖然方便,但由于HF酸對(duì)陶瓷部件有一定的腐蝕性,整體清洗會(huì)縮短相應(yīng)部件的使用壽命。

石墨舟烘干

1.清洗后的石墨舟應(yīng)先進(jìn)行風(fēng)淋或至少吹干一段時(shí)間,確保舟表面沒有水滴或水痕,再放進(jìn)烘干箱。請(qǐng)勿直接將剛清洗完的石墨舟放進(jìn)烘干箱。

2.將烘干箱溫度設(shè)定在100-120攝氏度,運(yùn)行和保持時(shí)間為10-12小時(shí),可結(jié)合生產(chǎn)周期確定一個(gè)固定的烘干時(shí)間段。

3.建議使用有定時(shí)功能和循環(huán)排風(fēng)的烘干箱,這樣烘烤的水蒸氣可直接被抽掉,以避免水蒸氣因無法排出而妨礙石墨舟徹底烘干。  

石墨舟預(yù)處理(飽和)

1.進(jìn)入PE爐管前應(yīng)再次檢查石墨舟是否完好。建議預(yù)處理(飽和)正常時(shí)間在200-240分鐘;隨著石墨舟清洗次數(shù)的增多及時(shí)間的增加,其飽和時(shí)間需要相應(yīng)延長。

2.建議不在空舟狀態(tài)下進(jìn)行預(yù)處理,最好裝上假片或廢片;雖然操作程序較長,但可縮短預(yù)處理時(shí)間,并可延長舟的使用壽命。

希望以上分享能幫助到大家,捷誠石墨歡迎各界友人蒞臨,更多石墨制品信息可查看http://zgzscp.com

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