MOVCD石墨盤的作用？
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發(fā)布時(shí)間：2023-08-18 10:44:42
做凈化處理用的MOVCD石墨盤清潔設(shè)備，其特征在于，其包括：氣路控制器，真空反響室，加熱單元，壓力控制器，泵，尾氣處理設(shè)備；帶腐蝕性的氣體與載氣進(jìn)入所述氣路控制器中，該氣路控制器將其按比率混合后通入所述的真空反響室內(nèi)，所述的加熱單元進(jìn)行加熱控溫，且所述的壓力控制器進(jìn)行壓力控制，該混合氣體與石墨盤表面沉積物充沛反響，反響殘留物通過泵隨載氣一同排出真空反響室，進(jìn)入尾氣處理設(shè)備進(jìn)行凈化處理。
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