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石墨制品，作為支撐半導體材料成長的關鍵因素，其使用與發(fā)展也日益受到人們的重視。
高純石墨制品在第三代半導體單晶成長設備中發(fā)揮著不可或缺的效果，它們常被用作碳化硅（SiC）單晶成長爐的石墨坩堝和石墨加熱器，同時也在GaN外延成長的石墨基座以及抗高溫燒蝕涂層石墨基座等方面得到廣泛使用。
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